Hãng sản xuất: Mahr
Model: CWM 100
Thông số kỹ thuật
- Phương pháp đo: Bằng giao thoa kế,Kính hiển vi đồng tiêu và đồng tiêu
- Nguồn sáng (CM and WLI): LED, 505 nm
- Dải đo: Đơn vị cảm biến có thể được di chuyển 100 mm theo trục Z, được điều khiển bằng CNC
- Bàn có thể được di chuyển 100 mm theo trục X và Y, điều khiển bằng CNC
- Giao thoa kế, giao thoa kế ánh sáng trắng:
- Dải đo (WLI): Hơn 4 mm (Chế độ tiêu chuẩn), hơn 20 mm (chế độ mở rộng)
- Kính hiển vi đồng tiêu:
- Dải đo (CM):hơn 12 mm (tùy thuộc vào độ phân giải ở Z và ống kính
Cung cấp bao gồm:
- Hệ thống cảm biến bao gồm:
- Kính hiển vi đồng tiêu & WLI with 6x ống nghe
- Camera, 780 x 580 pixels, lên đến 48 hình ảnh/s (phiên bản tiêu chuẩn)
- Trục Z điều khiển CNC 100 mm với cân kính Heidenhain tích hợp
- Một phần mềm điều hành với WLI và các modules phần mềm đồng bộ
- Khung và cột cơ sở Granite với hệ thống cảm biến và bàn điều khiển CNC
- Trục Z được điều khiển bằng CNC và bảng XY để định vị đầu đo và hợp nhất trường hình ảnh
- Lenses (optional)
+) 4x to 150x (Kính hiển vi đồng tiêu)
+) 2.5x to 100x (Kính hiển vi đồng tiêu)