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고내구성
- 대물렌즈 변환 500만회 이상 실현!
- 급유가 불필한, Maintenance free 구조로, 24시간 가동이 필요한 검사장비 적용에 최적합!
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고정도
- Non-Contact, 고정밀 마그네틱 센서에 의한 비접촉 위치 검출 방식 채택
- 고강성 구조로 중량있는 대물렌즈의 고속전환에도 고정밀도 유지
- Stopping position Accuracy
±2μm 이내 실현!
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그 외 특장점
- 먼지 발진을 최소화 하여, 반도체/FPD 크린룸 사용에 최적합 (Class 4. ISO 14644-1 대응)
- 대물렌즈 변환시 시야중심 틀어짐 보정 기능 탑재
- 대물렌즈 변환시 관찰화상의 조도를 일정하게 제어 가능
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적용 사례
Tiếng Việt
Tiếng Anh
Tiếng Hàn
Tiếng Trung
