Nikon Wafer LoaderNWL200

 

Nikon Wafer LoaderNWL200

개요
Wafer Loaders for IC Inspection Microscope
200mm Wafer Loader - 8" Wafer 대응 - Manual Stage & Focus - Thin Wafer Loading (100㎛) - Macro 육안검사 기능
특징
Wafer Loaders for IC Inspection Microscope NWL200 • 반도체 제조 공정에서 두께가 한층 얇아지는 Wafer 대응 • NWL200 시리즈는 니콘 독자적인 기술 • 검사 현미경용 Wafer Loader 최초의 100μm 두께 Wafer 이송 가능 • 차세대 반도체 검사에 맞춘 안정적인 반송을 실현
 Nikon의 독자적인 기술로의 Thin Wafer Loading 
- Wafer 후공정에서의 Thin Wafer의 수동 Loading 대응

    - 새로운 흡착 방식을 채용한 NWL Series로 최대 100μm 두께 Wafer 이송이 가능

    - 높은 안전성과 신뢰성으로 Thin Wafer 검사 요구에 최적화

                                     

Wafer-Sensing 기능 향상 

   - Thin Wafer의 경우 Carrier의  검출Sensor의 정밀도가 낮아 ARM이 손상되는 현상을 대응

   - NWL200 Series는 Wafer Sensor 배치를 최적화

   - Wafer의 왜곡을 정확하게 Cassettes 내에서 형상 검출이 가능

                                                    

뛰어난 조작성 & 3가지 Mode의 Macro 검사 및 다양한 조명 장치 

       - Wafer-slot 전면에 Display&Button으로 조작성 향상 - 정교한 인체 공학 디자인 - 높은 처리량의 Cycle Time 단축 - 높은 신뢰성 ( Error의 진단등 전면Display로 확인 가능 )      

                                                     

 원격 액세스 도구 및 NWL200 구성

     - 레시피 준비 지원 기능 - 장비 유지 보수 (백업 및 검사 Recipe 복원기능)

                                                

스펙
카탈로그
옵션
  • Additional Edge-Chipping Detection Function


Bài viết liên quan

Tin mới nhất

3D Vina Bàn Giao Máy Đo 2D VMM Rational Cho Tập Đoàn TCL Tại VSIP 2 Bình Dương 3D Vina Bàn Giao Máy Đo 2D VMM Rational Cho Tập Đoàn TCL Tại VSIP 2 Bình Dương
Kiểm tra độ tin cậy cho sản phẩm điện tử tại Trung Quốc Kiểm tra độ tin cậy cho sản phẩm điện tử tại Trung Quốc
Thiết bị đo lường điện là gì? Thiết bị đo lường điện là gì?
Kiểm tra pin Lithium-Ion: quy trình, tiêu chuẩn và an toàn Kiểm tra pin Lithium-Ion: quy trình, tiêu chuẩn và an toàn
Kiểm tra sốc cơ học Kiểm tra sốc cơ học
Sự khác biệt giữa thử nghiệm sốc nhiệt và thử nghiệm chu kỳ nhiệt độ là gì? Sự khác biệt giữa thử nghiệm sốc nhiệt và thử nghiệm chu kỳ nhiệt độ là gì?
Buồng thử nghiệm khả năng chịu nhiệt độ nóng lạnh – Buồng sốc nhiệt Buồng thử nghiệm khả năng chịu nhiệt độ nóng lạnh – Buồng sốc nhiệt
Tại sao nên kiểm tra khả năng chống cháy của sản phẩm? Tại sao nên kiểm tra khả năng chống cháy của sản phẩm?
Hiệu chuẩn thiết bị đo lường là gì? Hiệu chuẩn thiết bị đo lường là gì?
Máy đo độ cứng di động: công nghệ tiên tiến trong quá trình kiểm tra công trường Máy đo độ cứng di động: công nghệ tiên tiến trong quá trình kiểm tra công trường
Máy kiểm tra độ cứng: Hiểu rõ về các lựa chọn để đạt được kết quả tốt nhất Máy kiểm tra độ cứng: Hiểu rõ về các lựa chọn để đạt được kết quả tốt nhất
Ứng dụng của tủ thử nghiệm áp suất thấp/mô phỏng độ cao Ứng dụng của tủ thử nghiệm áp suất thấp/mô phỏng độ cao
Một số lỗi thường gặp ở tủ thử nghiệm môi trường Một số lỗi thường gặp ở tủ thử nghiệm môi trường
Tensile Strength là gì? Giới hạn độ bền kéo của vật liệu Tensile Strength là gì? Giới hạn độ bền kéo của vật liệu
Tensile strength là gì? Tổng quan về độ bền kéo vật liệu Tensile strength là gì? Tổng quan về độ bền kéo vật liệu
Giải thích hoạt động của buồng thử nghiệm chống bụi Giải thích hoạt động của buồng thử nghiệm chống bụi
Ứng dụng và tiêu chuẩn thực hiện trên máy kiểm tra độ bền kéo Ứng dụng và tiêu chuẩn thực hiện trên máy kiểm tra độ bền kéo
Phương pháp kiểm tra độ bền kéo đứt vải, giấy, nhựa Phương pháp kiểm tra độ bền kéo đứt vải, giấy, nhựa
Máy kiểm tra vạn năng UTM – Kiểm tra độ bền kéo Máy kiểm tra vạn năng UTM – Kiểm tra độ bền kéo
Buồng nhiệt độ độ ẩm và cấu tạo của nó Buồng nhiệt độ độ ẩm và cấu tạo của nó