Nikon Mini StepperNikon Engineering Stepper

특징

Nikon Mini Stepper NES Series-i10

• 새롭게 디자인된 투사렌즈 개발로 보다 넓은 필드 사이즈와 고해상도 실현 (44x44mm) • 노광영역 확대에 따른 Throughput 향상 • SEMI/ CE 준수 • 옵션사양으로 고정밀 배면 정렬장치 적용가능 • 세계 최소수준의 Foot print

Nikon Mini Stepper NES Series-ghi06/i06

• 고출력 i-line과 22mmx22mm의 넓은 노광영역으로 생산성 향상 • i-line 프로세스뿐만 아니라 i-line PR에도 적용 가능하며 • NA가 0.13인 투사렌즈 채택으로 초점심도와 해상도가 가장 높은 조합 • SEMI 2/8 및 NFPA79 준수 • 옵션사양으로 고정밀 배면 정렬장치 적용가능 • 세계 최소수준의 Foot print

Nikon Mini Stepper NES Series-h04/h04A

• LED&MEMS에 최적화된 투영 렌즈 채택 • 새로운 광학계로 노출 Power 및 Throughput 향상 • 1 Reticle방식 2 Pattern적용으로 Reticle 비용절감 효과 증진 • NES1W-h04/h04A, NES2W-h04/h04A ( CE/SEMI규격 대응장비 ) • 세계 최소 수준의 Small Footprint

1. Large depth of focus

- 두꺼운 Photo Resist에도 대응 가능 (PR 10um 이상에서, L/S 3um)

- BOW Wafer에도 대응 가능(4inch기준 BOW 200um대응)

2. Smallest Footprint

- 세계 최소 레벨의 Footprint ( W: 1150 x D: 1940 x H:2080 )

3. 고정도 Backside Alignment, IR용 Alignment 중 선택 가능

4. 비용대비효과가 뛰어난 Basic Model

Option

Auto Wafer Loader
Environmental Chamber(Wafer-Cooling)
Back Side Alignment System
Test Reticle Kit
Auto Reticle Slider (for Multi-Pattern Reticle)
Reticle Barcorde Reader (for Manual Reticle Slider)
Auto Sigma Changer
IR Alignment System
Recipe Editor
Uninterruptible Power Supply(UPS)

스펙

투영렌즈	NEW i04	NEW i05	개발중 i10A	i10
본체	NES1 (≦ 6") / NES2 (6" & 8")
파장 (nm)	365 （i-line）
해상력 L/S (μm)	1.0	1.2	1.8	3.7
베스트 퍼포먼스 해상력 L/S (μm) *1	0.8	1.0	1.3	2.6
초점 심도 (μm) *2	6	10	18	74
노광 필드 (mm)	15×15	22×22	50×50	44×44
조도 (mW/cm2)	1000	700	300	300
중첩 정도 (μm) (M+3σ)	0.3	0.3	0.6	0.6
웨이퍼 사이즈	≦ 6"	6" & 8"	6" & 8"	8"
스루풋 8" (WPH) (100 mJ/cm2)	N/A	45	71	71
스루풋 6" (WPH) (100 mJ/cm2)	62	81	121	N/A

투영 렌즈	i06	ghi06	h04	h04A
본체	NES1 (≦ 6") / NES2 (6" & 8")
파장 (nm)	365 （i-line）	365-436 （ghi-line）	405 （h-line）
해상력 L/S (μm)	2.0	2.3	2.0	1.6
베스트 퍼포먼스 해상력 L/S (μm) *1	1.4	1.7	N/A
초점 심도 (μm) *2	22		16	10
노광 필드 (mm)	22×22		15×15
조도 (mW/cm2)	800	1400	800
중첩 정도 (μm) (M+3σ)	NES1：0.3　　NES2：0.35		0.3
웨이퍼 사이즈	6" & 8"		≦ 6"
스루풋 8" (WPH) (100 mJ/cm2)	45	48	N/A	N/A
스루풋 6" (WPH) (100 mJ/cm2)	82	87	60

참조　*1:최상의 프로세스 조건의 경우 *2:최상의 프로세스 조건으로 산출한 값