Giao thoa kế sóng nghiêng tích hợp chuyển động 6 trục Hexapod

Giao thoa kế sóng nghiêng Mahr (MarOpto TWI 60) là một giao thoa kế rất linh hoạt để đo các mặt cầu nhanh và có độ chính xác cao.

Một thấu kính hình cầu hoặc phi cầu là một quang học có bề mặt được xác định bởi một phương trình đa thức. Các mặt cầu đối xứng quay quanh trục quang học, nhưng bán kính cong của chúng thay đổi theo khoảng cách từ tâm. Thấu kính phi cầu mang lại hiệu suất cao hơn so với thấu kính thông thường, cho phép giảm kích thước, khối lượng và số lượng thành phần được sử dụng – những tính năng quan trọng để thu nhỏ. Các nhà sản xuất dụng cụ y tế, kính viễn vọng và máy ảnh sử dụng aspheres để cải thiện sản phẩm của họ. Như câu nói “Có ánh sáng, ắt có bóng tối” và đối với thấu kính aspheres, việc sản xuất và đo lường những thấu kính như vậy đòi hỏi công nghệ tiên tiến và phức tạp hơn so với thấu kính truyền thống.

Hệ thống đo lường không tiếp xúc mới sử dụng 'Giao thoa kế mặt sóng nghiêng (TWI)', sử dụng tính linh hoạt và độ chính xác đa trục của hệ thống chuyển động 6 trục động học song song hexapod để định vị quả cầu hiệu chuẩn. Phương pháp đo lường mới do Mahr triển khai kết hợp tốc độ và tính linh hoạt vào một quy trình. Máy MarOpto TWI 60 có thể đo hình dạng bề mặt với độ phân giải ngang cao trực tiếp trên dây chuyền sản xuất với độ không đảm bảo đo nhỏ hơn 50 nanomet. Hệ thống đo lường thu được một số ô cửa con hoạt động ở các thời điểm khác nhau và kết hợp các mẫu giao thoa riêng lẻ để tạo thành một mẫu duy nhất.

Trong thời gian thu thập dữ liệu khoảng 30 giây, toàn bộ bề mặt của mặt cầu được đo ở độ phân giải ngang cao và độ không đảm bảo đo thấp. Quan trọng nhất, không yêu cầu CGH (Hình ba chiều do máy tính tạo) cũng như khâu.