Chụp cắt lớp mạch lạc quang học đảm bảo chất lượng của màng mỏng

Viện Công nghệ Sản xuất Fraunhofer IPT ở Aachen, Đức, đã phát triển một phương pháp đo giao thoa kế có thể được sử dụng để đo một cách đáng tin cậy liệu các lớp sơn mỏng trong suốt có được phủ đều hay không: Các khả năng mà chụp cắt lớp kết hợp quang học (OCT) mang lại để đo loại sơn đó các lớp sẽ được Fraunhofer IPT trình bày tại CONTROL 2022 bằng cách sử dụng nguyên mẫu.

OCT là một kỹ thuật đo lường không tiếp xúc ban đầu được phát triển trong nhãn khoa. Nó có thể cung cấp hình ảnh hai chiều và ba chiều có độ phân giải cao của vật liệu trong suốt và bán trong suốt. Tuy nhiên, với tần số đo cao hơn một trăm kilohertz, OCT cũng cho phép đo một cách đáng tin cậy các lớp sơn mỏng và trong suốt từ một micromet trở lên trên cơ sở hình ảnh cắt ngang trong quá trình sản xuất. Ví dụ, trong thực tế cửa hàng in, điều này có một lợi thế rõ ràng: bởi vì cho đến nay, không có thiết bị đo lường nào trên thị trường có thể kiểm tra trực tiếp và đáng tin cậy xem lớp phủ có độ dày đồng đều trên tờ in hay không. Độ dày lớp phủ của tờ in riêng lẻ chỉ được ước tính bằng cách ghi lại mức tiêu thụ lớp phủ trung bình. Tuy nhiên, cách tiếp cận này rất không chính xác và không cung cấp bất kỳ thông tin thực tế nào về chất lượng của lớp phủ trên mỗi tờ in riêng lẻ. Điều này cũng đúng trong các ứng dụng công nghiệp khác, ví dụ như trong ứng dụng sơn ô tô và các lớp vecni để phủ nhiều loại linh kiện. Với ifSidLa (Phát triển phương pháp đo độ dày lớp giao thoa kế của màng sơn mài in mỏng), Fraunhofer IPT đã tạo ra một hệ thống đo lường dựa trên phép đo giao thoa kế có thể được sử dụng để đo các lớp sơn mài mỏng trong suốt một cách đáng tin cậy. Do thiết kế linh hoạt, hệ thống cũng có thể được tích hợp vào sản xuất hoặc vào một máy ứng dụng. Hệ thống bao gồm một nguồn sáng có băng thông quang phổ khoảng 300 nanomet. Ánh sáng được đưa vào các phần bằng nhau vào nhánh mẫu và nhánh tham chiếu. Trong cánh tay tham chiếu, ánh sáng được phản chiếu lại bởi một tấm gương. Trong nhánh mẫu, phản xạ là từ mẫu. Bộ tách chùm tia kết hợp hai thành phần ánh sáng – sự chồng chất của cả hai thành phần ánh sáng được đo bằng máy quang phổ kế. Vì đường đi của ánh sáng trong nhánh tham chiếu luôn giống nhau; đường dẫn trong nhánh mẫu thay đổi do các mẫu và lớp mẫu khác nhau, có thể kiểm tra từng lớp mẫu riêng lẻ tại đây và có thể đo độ dày lớp lên đến một micromet. Gian hàng 6301 Hội trường 6 Để biết thêm thông tin: www.ipt.fraunhofer.de